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FR-μProbe

FR-μProbe



FR-μProbe 顯微薄膜測量




原理介紹                                                                                                                                                                         FR-mProbe-1-small.jpg


FR-μProbe 是一款小型化的一站式解決方案,

用于通過光學顯微鏡在各種模式下進行光學測量,例如:吸光度、透射率、反射率和熒光。

主要包含兩個光學組件:一個在顯微鏡支持的光譜范圍內運行的

光譜儀和一個安裝在任何三筒光學顯微鏡 C-mount端口上的模塊。

用于測量的光源來自光學顯微鏡本身。測量光斑的大小區域由所用物鏡的放大倍數定義。

通常對于 50X 物鏡,量區域是一個直徑約 5μm

圓形。通過使用更高放大倍率或更小孔徑的物鏡,可以進一步縮小測量光斑.





通過所測量反射率光譜與理論光譜處理,計算出所研究的薄膜堆疊區域的各層薄膜膜厚度和光學常數 (n & k)


FR-uProbe_2.jpgFR-pR膜厚儀特點.jpg


Fig. 1: FR-μProbe安裝在使用內部光源的光學顯微鏡上     Fig. 2: 使用 FR-Monitor 軟件通過顯微鏡的 20 倍物鏡對厚 SiO2 膜進行測量.



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任何具有基本計算機技能的人都可以輕松使用該系統,無需任何光學知識,并且需要一臺帶有 USB 端口的 PC.



1. 規格如有更改,恕不另行通知, 2 與校準的光譜橢偏儀和 XRD 比較的測量值, 3. 15 天平均值的標準偏差平均值。 樣品:Si 晶片上的 1 微米 SiO2,4。100 次厚度測量的標準偏差。 樣品:Si 晶片上的 1 微米 SiO2,5. 2 (15 天內每日平均值的標準偏差)。 樣品:Si 晶片上的 1 微米 SiO2。  顯微鏡上沒有紅外濾光片。** 使用反射物鏡 


測量分析軟件


FR-Monitor® 為光譜測量控制軟件,並為廣泛的應用和多功能性提供獨特的功能。它實時獲取吸光度、透射率、反射率或熒光光譜,並憑藉在 Visual C++ 中實現的最先進算法執行非??焖俚挠嬎?

在吸光度/透射率配置中,所有典型參數,例如 A (absorbance ) 、T (transmittance )皆可計算。此外,還計算了其他非常規參數,例如在其他測量中非常有用的信號積分.

在反射率測量的情況下,FR-Monitor 軟件包括白光反射光譜 (WLRS) 算法 (ThetaMetrisisTM),用於精確計算膜厚(<10nm 至 100μm)和獨立的光學常數 (n & k) 並且支持(在透明或部分/全反射基板上)多層堆疊(<10 層)薄膜計算.






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