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快速自動晶圓宏觀檢測儀_nSpec Macro

快速自動晶圓宏觀檢測儀_nSpec Macro

1. 產品簡介

       nSpec Macro是一種快速自動晶圓宏觀檢測儀,無論您有多特殊的晶圓檢查要求,我們都能提供一系列解決方案來讓您獲得快速的結果。這種緊湊的系統設計用于對200 mm以下的晶圓進行高通量宏觀檢查。 以毫米為單位,nSpec Macro可以自動檢測并量化從50到100微米的眾多缺陷,這取決于視場或晶圓尺寸。

       nSpec Macro可以照亮樣品的整個面,或設置照明角度和/或離散照明矢量。 明場,暗場,正交和可配置的傾斜照明角度與可單獨配置的LED,配合使用可調節照明的強度,顏色和位置。
       該系統會自動導出CSV文件,并且與SECS / GEM兼容,也可以根據客戶要求進行定制。
2. 自動化晶圓處理功能
       所有Nanotronicsn Spec Macros都裝有滿足行業標準要求的晶圓裝載機。Nanotronics創造了末端執行器,可將整個單個晶圓和/或帶有禁區的晶圓加載進去。每個末端執行器都是根據客戶的需求設計的。
3. 控制軟件
       配方易于配置,并可以根據需要保存??梢园错樞蜻M行多次掃描,并且在照射角度,強度和波長方面具有完全的靈活性。 
4. 系統參數
        重量:62kg
        尺寸(寬x深x高):67厘米 x 74厘米 x 65厘米
        蕞小真空要求:20 in.Hg
        電源:110v / 220v,3.5安培
5. 光學特性
        暗場照明模式照明角度:0度
        傾斜照明模式照明角度:0至80度
        明場照明模式照明角度:90度

        正交照明模式照明角度:90度(通過鏡頭)

晶圓缺陷檢測光學系統 光學鏡頭.jpg

6. 晶圓裝載機
        一次運行1個卡夾:標準H型卡夾
        標準晶圓尺寸:50、75、100、150或200mm

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