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自動光學檢測系統_nSpec CPS

自動光學檢測系統_nSpec CPS

       這個晶圓光學檢測系統具有人工智能的自動檢查功能。先進的圖像處理AOI系統可提供可定制性和靈活性,以及可靠,高度可重復的結果??梢詫I增強的軟件nTelligence進行培訓,以使用nSpec®上的稀疏數據檢測缺陷。一旦經過訓練,就可以將算法導入到生產工具中,并且用戶可以開始自動對感興趣的缺陷和特征進行分類。該系統生成晶片上檢測到的所有缺陷的缺陷圖報告。

       無論用戶對樣品檢驗有什么具體要求,我們都能提供廣范的解決方案來獲得快速的結果。
       nSpec®CPS 300mm自動光學檢測系統是高度受控的潔凈室環境的理想系統。該系統可按順序運行多個掃描程序。用戶友好的軟件使配置配方變得毫不費力。而且,隨著需求的發展,配方非常易于保存和修改。
1. 這種300毫米尺寸的設備支持:

  • HEPA空氣過濾
  • 空氣離子發生器
  • 自動加載端口
2. 產品特征
  • 晶圓自動處理
  • 可設置多種分辨率,范圍從0.25 μm到更高
  • 快速掃描功能
  • 可定制的缺陷報告
  • 可設置單個圖像捕獲和掃描
  • 提供各種樣品夾頭,可滿足特定需求
  • 對缺陷或感興趣特征進行檢測和分類的魯棒分析
  • 擁有檢查和審查程序
  • 能夠多系統同步
  • 占地面積小,設施要求蕞少
  • 利用機架安裝控件
  • 帶有門聯鎖



晶圓缺陷檢測光學系統 光學鏡頭.jpg
3. 系統基本參數
  • 重量:540公斤
  • 尺寸(寬x深x高):158cm x 173cm x 202cm
  • 蕞小真空要求:24英寸汞柱(70 kPa)
  • 電源:110v / 220v,30安培
4. 光學性能
  • 照明模式:明場,暗場,DIC(Nomarski)
  • 光源:白光LED(可用其他選項)
  • 物鏡倍數:2.5、5、10、20或50x,用戶可選
5. 光學平臺
  • 行程:典型值為350 mm(X和Y方向)
  • 定位:使用閉環編碼器,線性伺服電機(步進為50 nm)
  • 重復性:+/- 0.5 μm
  • 行程平整度:20 μm
  • 結構:施工精密地面滾道和高剛性直線導軌
  • 支撐平臺:集成到隔離平臺中
  • 帶有櫥柜系統
  • 中心負荷能力:5公斤
6. 備選功能
  • 可根據要求提供AFM 
  • SECS / GEM OCR
  • 空氣電離儀

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